晶圓的特點(diǎn),種類及應(yīng)用
發(fā)布時(shí)間: 2023-09-21 16:43:01 點(diǎn)擊: 935
晶圓是制造半導(dǎo)體器件的基礎(chǔ)性原材料,它具有以下特點(diǎn):
晶圓是半導(dǎo)體的薄片,例如晶體硅 (c-Si),用于制造集成電路,在光伏器件中用于制造太陽能電池。
晶圓具有極高純度的半導(dǎo)體材料,例如GaAs、InP等,這些材料適用于制作高速、高頻、大功率以及發(fā)光電子器件,是制作高性能微波、毫米波器件及發(fā)光器件的優(yōu)良材料。
晶圓可以經(jīng)歷摻雜、離子注入、蝕刻、各種材料的薄膜沉積和光刻圖案化等一系列半導(dǎo)體制造工藝,形成極微小的電路結(jié)構(gòu)。
最后,通過晶圓切割分離單個(gè)微電路并封裝為集成電路。
在種類方面,晶圓主要由晶體硅制成,按照制造工藝,硅基半導(dǎo)體大致可以分為以下幾類:
按晶體生長方法,硅基半導(dǎo)體可分為直拉法(CZ)和區(qū)熔法(FZ)兩種,前者占主流地位。
按襯底材料劃分,硅基半導(dǎo)體可分為拋光片、外延片和SOI片三種。
按導(dǎo)電類型劃分,硅基半導(dǎo)體可分為單極性(N型或P型)和雙極性(N/P或P/N型)兩種。
在應(yīng)用方面,晶圓主要用于制造集成電路和光伏器件?;诩呻娐返碾娮釉O(shè)備無處不在,從電腦、手機(jī)、電視等電子產(chǎn)品到衛(wèi)星通訊、移動(dòng)通訊、光通信、 GPS 導(dǎo)航等領(lǐng)域都有應(yīng)用。此外,光伏器件中用于制造太陽能電池的晶圓也具有廣泛的應(yīng)用前景