普通方塊電阻測(cè)試儀FT-332
發(fā)布時(shí)間: 2024-04-29 20:14:52 點(diǎn)擊: 3099
FT-332普通方塊電阻測(cè)試儀
參照標(biāo)準(zhǔn):
1.硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84).
2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》.
3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針法》.
4.GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針法》.
雙電組合測(cè)試方法:
利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測(cè)量,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析,解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。
規(guī)格型 |
FT-332 |
1.方塊電阻范圍 |
10-4~2×105Ω/□ |
2.電阻率范圍 |
10-5~2×106Ω-cm
|
測(cè)試電流范圍
|
10μA,100μA,1mA,10mA,100mA |
4.電流精度 |
±0.2%
|
5.電阻精度 |
≤0.3% |
6.顯示讀數(shù) |
液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率 |
7.測(cè)試方式 |
普通單電測(cè)量 |
8.工作電源 |
輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W |
9.誤差 |
≤4%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果) |
10.選購(gòu)功能 |
選購(gòu)1.pc軟件; 選購(gòu)2.方形探頭; 選購(gòu)3.直線形探頭; 選購(gòu)4.測(cè)試平臺(tái);5.標(biāo)準(zhǔn)電阻 |
11.測(cè)試探頭 |
探針間距選購(gòu):1mm;2mm;3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購(gòu):碳化鎢針;白鋼針;鍍金磷銅半球形針 |