瑞柯微FT-3110A全自動四探針測試儀詳情介紹
發(fā)布時間： 2024-04-29 14:41:37 點擊： 530
瑞柯微FT-3110A全自動四探針測試儀詳情介紹
一.功能描述：
四點探針法，全自動化運行測量系統(tǒng)，可顯示：方阻、電阻率、顯示2D,3D掃描/數(shù)值圖、溫濕度值、提供標準校準電阻件. 報表輸出數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析.
二.適用范圍
瑞柯微FT-3110A全自動四探針測試儀詳情介紹
晶圓、非晶硅/微晶硅和導(dǎo)電膜電阻率測量；選擇性發(fā)射極擴散片；表面鈍化片；交叉指樣PN結(jié)擴散片；新型電極設(shè)計，如電鍍銅電阻測量等；半導(dǎo)體材料分析，鐵電材料，納米材料，太陽能電池，LCD，OLED，觸摸屏等.
瑞柯微FT-3110A全自動四探針測試儀詳情介紹
三.參數(shù)資料：
規(guī)格型號 FT-3110A
1.電阻 10^-5～2×10^5Ω
2.方塊電阻 10^-5～2×10^5Ω/□
3.電阻率 10^-6～2×10^6Ω-cm
4.測試電流 0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，10mA，100mA
5.電流精度 ±0.1%
6.電阻精度 ≤0.3%
7.PC軟件操作 PC軟件界面：電阻、電阻率、電導(dǎo)率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、報表生成等
8.壓力范圍（選購）： 探針壓力可調(diào)范圍：軟件控制,100-500g可調(diào)
9.探針 針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機械游移率：≤0.3%
銅鍍金或鎢鋼材質(zhì)，探針間距1mm；2mm；3mm選配，其他規(guī)格可定制
10.可測晶片尺寸載臺選購 選購:載臺晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）其他規(guī)格可定制
11.分析模式 單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的自動測試
12.重復(fù)性 單點重復(fù)性：重復(fù)性≤0.5%
13.防護功能 具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報
14.電源 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<600W
15.選購項目 電腦和打印機
